La scie monofil NCS200 peut recevoir des pièces  jusqu’à 200x200x200mm. Une grande longueur et une haute vitesse de déplacement du fil permet des coupes rapides : une coupe de 100x100mm en quartz prend moins de 2 heures. Des coupes aux  plans cristallins voulus sont possibles  grâce à une table encodée à déplacement Y et double rotation. Des coupes successives d’épaisseurs variables sont également accessibles ainsi que la gravure de petites pièces.

Le perçage ultrasonore est une technologie prometteuse pour les matériaux fragiles. L’usinage se fait par l’intermédiaire d’une solution abrasive dans laquelle baigne l’ensemble de la pièce. L'usinage est sélectif, le motif à usiner est présent en négatif sur la sonotrode qui vibre à une fréquence ultrasonique. Cette sonotrode accélère sélectivement les grains d’abrasifs qui se trouvent auprès de ses contours, et ceux-ci sont alors reproduits par abrasion dans la pièce, de la même façon que pour un emporte-pièce, mais sans contact ! Les avantages de cette technologie sont les suivants :

• Usinage très doux, produisant peu d’écaillage
• Respect des tolérances dimensionnelles à quelques centièmes
• Possibilité de réaliser des perçages complexes : carrés, ou asymétriques…

2 machines de rodage/polissage de 400mm

Goniomètre à rayons X équipé de monochromateurs permettant une bonne précision pour la vérification des orientations cristallines nécessaire à la plupart des applications.

Altimet 520. Profilomètre de surface polyvalent pour mesures de planéité et rugosité

Table X-Y  200x200mm couplé avec un porte-instrument en Z équipé de 5 senseurs : 2 sondes confocales chromatiques, une de champ 4mm, une de champ 300µm (précision 12nm),une sonde interférométrique, un capteur microforce de contact et une caméra.

Interféromètre Tropel pour les mesures de planéité et parallélisme (bow, warp, TTV…) de tranches jusqu’à 200mm avec une précision de 50nm. Il accepte des tranches transparentes ou opaques, polies ou non jusqu’à plusieurs mm d’épaisseur

Système de mesure dimensionnelle Keyence IM-7010                           Objectif télécentrique double pour une grande profondeur de champ                                                                                         Zone de mesure 200x200mm                                                                                                                               Epi-éclairage annulaire ou par transmission                                     Précision jusqu’à 2µm                                                                 Mesure sans contact jusqu’à 99 dimensions sur 99 pièces en quelques secondes ; suppression des erreurs humaines                                                                                                                                 Enregistrement de données et génération de rapport automatiques

• 1 bac nettoyage Ultra-sonore
• 2 bacs de rinçage
•  Séchage

Bras robotisé