L'interféromètre Tropel permet de mesurer des tranches jusqu’à 200 mm avec une précision de 50 nm :
Spécification des tranches : transparentes ou opaques, polies ou non, jusqu’à plusieurs mm d’épaisseur. Le logiciel propose l’utilisation d’un grand nombre de traitements des données brutes afin de mettre en valeur l’information pertinente.
Mesures sur wafers ronds 2 à 6 pouces
Altisurf 520 permet la métrologie d’état de surface et de planéité.
Ce profilomètre est capable d’effectuer des mesures en utilisant plusieurs technologies : confocal chromatique, interférométrie lumière blanche, associées à une caméra CCD de haute résolution.
Deux axes rotatifs peuvent s’ajouter à cette station de métrologie pour répondre aux différents besoins.
Table X-Y 200x200mm couplé avec un porte-instrument en Z équipé de 5 senseurs : 2 sondes confocales chromatiques, une de champ 4mm, une de champ 300µm (précision 12nm),une sonde interférométrique, un capteur microforce de contact et une caméra.
Précisions : planéité 0.3 µm Ra jusqu’à 3nm
Le projecteur de profil Série IM-7000 (Instant Measurement System) est une machine de mesure 2D automatique combinant haute précision et convivialité.
L'orientation des échantillons cristallins découpés peut être contrôlée à l'aide d'un goniomètre à rayons X utilisant la loi de Bragg. Si la précision absolue est de l'ordre d'une minute d'angle, la répétabilité de la mesure est de 10'' d'arc.
Fondée en 2011 par un partenariat entre industriels et laboratoires d’Auvergne-Rhône-Alpes. Pilotée par l’Université Claude Bernard Lyon 1. Dotée d’une gouvernance collégiale. Inscrite dans l’écosystème d’innovation régional. Soutenue par les collectivités territoriales.
Founded in 2011 by a partnership between industrial manufacturers and laboratories from Auvergne-Rhône-Alpes region.
354 Voie Magellan -
Bât. Cleanspace
Parc d’activité Alpespace
Sainte-Hélène-du-Lac 73800 France
+33 (0)619 23 40 56
EZUS LYON Université Claude Bernard Lyon 1 L’Atrium - CS 32009 Villeurbanne cedex 69616 France